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掃描開(kāi)爾文探針系統(tǒng)的工作原理

更新時(shí)間:2024-05-06瀏覽:911次
  掃描開(kāi)爾文探針系統(tǒng)是一種先進(jìn)的表面分析技術(shù),用于測(cè)量材料表面的電勢(shì)分布。它基于開(kāi)爾文探針的原理,通過(guò)掃描探針與樣品表面的近距離相互作用,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面電荷密度、功函數(shù)和界面電勢(shì)差的高分辨率成像和定量分析。
 
  一、原理
 
  開(kāi)爾文探針由一個(gè)懸臂梁和固定在其末端的微型球體組成,球體作為探測(cè)器與樣品表面接觸。當(dāng)探針球體與樣品接觸時(shí),由于兩者的功函數(shù)差異,電子會(huì)從功函數(shù)低的表面轉(zhuǎn)移到功函數(shù)高的表面,直到兩者的功函數(shù)達(dá)到平衡狀態(tài)。這個(gè)過(guò)程中產(chǎn)生的電流可以被放大并檢測(cè)出來(lái),從而得出兩個(gè)表面之間的功函數(shù)差。
 
  二、掃描探針顯微鏡技術(shù)
 
  系統(tǒng)利用了掃描探針顯微鏡的技術(shù),將開(kāi)爾文探針與一個(gè)高度敏感的位移傳感器相結(jié)合。這個(gè)傳感器可以準(zhǔn)確地測(cè)量探針與樣品之間的距離,并通過(guò)反饋控制系統(tǒng)調(diào)整探針的位置,以維持恒定的接觸壓力或者間隙。
 
  三、系統(tǒng)組成
 
  一個(gè)典型的SKP系統(tǒng)包括以下幾個(gè)關(guān)鍵部分:
 
  1. 探針:通常由單晶硅制成,探針球體的直徑一般在幾微米到幾十微米之間。
 
  2. 位移傳感器:用于準(zhǔn)確測(cè)量探針的垂直位移,常見(jiàn)的有光學(xué)杠桿系統(tǒng)和電容傳感器。
 
  3. 控制系統(tǒng):用于控制探針與樣品之間的距離,保證探針在掃描過(guò)程中保持恒定的接觸壓力或間隙。
 
  4. 信號(hào)處理與數(shù)據(jù)采集系統(tǒng):處理探針檢測(cè)到的信號(hào),并將其轉(zhuǎn)換為可讀的電勢(shì)分布圖。

掃描開(kāi)爾文探針系統(tǒng)
 

  四、工作過(guò)程
 
  1. 校準(zhǔn):在進(jìn)行測(cè)量之前,需要對(duì)探針的零點(diǎn)進(jìn)行校準(zhǔn),通常是通過(guò)接觸一個(gè)已知功函數(shù)的參考表面來(lái)進(jìn)行。
 
  2. 掃描:探針在控制系統(tǒng)的作用下,沿著設(shè)定的路徑掃描樣品表面。
 
  3. 數(shù)據(jù)采集:探針與樣品表面接觸時(shí),通過(guò)位移傳感器記錄下探針的位移,同時(shí)檢測(cè)由于電荷轉(zhuǎn)移產(chǎn)生的電流。
 
  4. 圖像重建:將收集到的數(shù)據(jù)通過(guò)計(jì)算機(jī)處理,重建樣品表面電勢(shì)分布的二維圖像。
 
  五、應(yīng)用領(lǐng)域
 
  SKP技術(shù)廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、生物、材料科學(xué)等領(lǐng)域,特別適合于對(duì)半導(dǎo)體、超導(dǎo)體、催化劑、生物膜等材料的表面電勢(shì)和功函數(shù)的研究。
 
  掃描開(kāi)爾文探針系統(tǒng)通過(guò)結(jié)合開(kāi)爾文探針的原理和掃描探針顯微鏡的技術(shù),提供了一種高分辨率的表面電勢(shì)成像方法。它在材料科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)以及生物學(xué)等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價(jià)值。
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